平板平面度檢定一般分為三個步驟。

第壹步是測量。先選擇一個測量基面，按這個基面測出被測各點相對于此基面的距離。這一步實際上是獲得原始數據的過程。

第貳步是評定。按平面度誤差值的評定原則確定評定基面的具體方位，并以此獲得被測平板平面度誤差值的大小，這一步是對獲得的數據進行平面度誤差值的評定。

第三步是測量不確定度評估。準確度要求高的平板測量，對測量結果進行準確度分析，獲得測量不確定度。

對于簡易測量法，第壹，二步是合并進行的，在保證測量不確定度前提下，第三步可省略。